电子气：
    按组分的性质分类，大致分为三类，即单质类气体（O2、N2、Ar、H2、He）、化合物类气体（SiH4硅烷、PH3磷烷、AsH3砷化氢、CO一氧化碳、B2H6乙硼烷、Hcl氯化氢、NH3氨、CF4四氟甲烷、SiF4四氟硅烷等）、混合物类气体（SiH4+稀释气（Ar、N2）、PH3+稀释气（Ar、N2）、NH3+稀释气（Ar、N2）等）。